利用微桥气体质量流量传感器技术。AWM1000 系列气体质量流量传感器具有标准 AWM2000 系列的所有优良性能,而且更加经济实惠。此装置提供准确、可重复的气流传感。传感器与传感器的可互换性规格约是 AWM2000 系列的两倍。
根据操作规范的要求,同时具备加热器控制电路和传感桥供电电路。这两种电路不在传感器电路板上,因此必须在应用中提供。差分放大电路可能有助于提供输出增益和/或将电压偏置导入传感器输出。
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量,液体流过传感器时会损坏传感器。
补偿温度范围
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
流量/压力范围
1000 sccm (1.0 SLPM) 至 -600 sccm
±200 sccm
±10.0 mbar [4.0 H20]
电源电压
最小 8.0 Vdc,典型值 10.0 Vdc,最大 15.0 Vdc
UNSPSC 代码
41111931
冲击
100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)
零位
±1 mV dc
输出温漂
±4% 满量程
±22% 读数
端口类型
直
传感器电流
典型值 0.3 mA,最大 0.6 mA
信号调节
非放大式 (mV)
UNSPSC 商品
41111931 流量传感器
可重复性
±1% 满量程
调整点的输出电压
20.0 mVdc,水中 2.0
100 sccm 时,30.0 mV dc
650 sccm 时,50.0 mV dc
存储温度
-40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]
介质兼容性
仅干燥气体
重量
10.8 g
系列名称
AWM1000
功耗
典型值 30 mW,最大 50 mW
工作温度
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
整个温度范围内的零位
±0.7 mV dc(最大)
响应时间
典型值 1 ms,最大 3 ms
共模压力
25 psi
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